RELA絕對(duì)式高精度柵尺
? | 系統(tǒng)特性 ·單碼道絕對(duì)式光柵柵尺 ·?1米內(nèi)的保證精度可達(dá)士1 um. 30 um標(biāo)稱柵距確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)控制性能 ·堅(jiān)固耐用的ZeroMetT材料的熱膨脹系數(shù)僅為0.75±0.35 um/m/C (20°C時(shí)),并且便于搬運(yùn)和安裝 ·柵尺安裝選項(xiàng):自粘式或裝夾式 ·有多種長(zhǎng)度可供選擇,最長(zhǎng)可達(dá)1.5 m±40 nm電子細(xì)分誤差,可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的速度控制 ·分辨率可達(dá)1 nm ·最大速度為100 m/s |
RELA絕對(duì)式高精度ZeroMetTM柵尺與雷尼紹革命性的真正意義絕對(duì)式光柵系統(tǒng)RESOLUTETM兼容。
當(dāng)長(zhǎng)度不超過1米時(shí),RELA具有經(jīng)認(rèn)證的±1 um精度,結(jié)合低熱膨脹ZeroMet材料,適于精度要求極高的測(cè)量場(chǎng)合。雷尼紹RESOLUTE絕對(duì)式光學(xué)讀數(shù)頭細(xì)分誤差為±40 nm,分辨率高達(dá)1 nm,噪聲(抖動(dòng))低,最大速度為100 m/s,提高了柵尺的性能。
RELA具有很強(qiáng)的抗污染能力,且易于調(diào)試,其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴的精細(xì)柵距光柵系統(tǒng)媲美。
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規(guī)格手冊(cè)
RELA絕對(duì)式高精度柵尺
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規(guī)格表
柵尺
碼道 柵距 形狀(Hx W) 最大長(zhǎng)度 測(cè)量長(zhǎng)度 精度 ? 材料 熱膨脹系數(shù)(20°C時(shí)) 安裝 ? ? 質(zhì)量 | 單個(gè)絕對(duì)式光學(xué)碼道 30 um 1.6 mm x 14.9 mm 1.5m 見下表 長(zhǎng)度不超過1 m時(shí)認(rèn)證精度為±1 um.長(zhǎng)度>1 m時(shí)精度為±1 um/m校準(zhǔn)可溯源至國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ZeroMet。高穩(wěn)定、低膨脹鎳-鐵合金 0.75土0.35 um/m/°C 環(huán)氧樹脂基準(zhǔn)點(diǎn)和膠帶或基準(zhǔn)夾具和安裝夾 所有柵尺背面均自帶不干膠帶 (標(biāo)稱厚度為0.2 mm) 184 g/m |
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測(cè)量長(zhǎng)度
柵尺長(zhǎng)度?L (mm) | 20 | 30 | 40 | 50 | 60 | 70 | 80 | 110 |
測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm) | 10 | 20 | 30 | 40 | 50 | 60 | 70 | 100 |
柵尺長(zhǎng)度?L (mm) | 130 | 150 | 180 | 230 | 250 | 280 | 330 | 380 |
測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm) | 120 | 140 | 170 | 220 | 240 | 270 | 320 | 370 |
柵尺長(zhǎng)度?L (mm) | 430 | 480 | 530 | 580 | 630 | 680 | 730 | 780 |
測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm) | 420 | 470 | 520 | 570 | 620 | 670 | 720 | 770 |
柵尺長(zhǎng)度?L (mm) | 880 | 980 | 1030 | 1130 | 1230 | 1330 | 1430 | 1500 |
測(cè)量長(zhǎng)度?ML (mm) | 870 | 970 | 1020 | 1120 | 1220 | 1320 | 1420 | 1490 |
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規(guī)格手冊(cè)
RELA絕對(duì)式高精度柵尺
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分辨率、速度和柵尺長(zhǎng)度
RESOLUTE提供多種分辨率。分辨率的選擇取決于所使用的串行協(xié)議。
采用BiSS-C串行通訊的RESOLUTE提供1 nm、5 nm和50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大讀取速度為100 m/s。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。
分辨率 | 最大柵尺長(zhǎng)度?(m) | |||
36位置位 | 32位置位 | 26位置位 | ||
1 nm | 1.5* | 1.5* | 0.067 | |
5 nm | 1.5* | 1.5* | 0.336 | |
50 nm | 1.5* | 1.5* | 1.5* |
采用Siemens DRIVE-CLiQ串行通訊的RESOLUTE提供1 nm和50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大讀取速度為100 m/s。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。
分辨率 | 最大柵尺長(zhǎng)度?(m) | ||
34位置位 | 28位置位 | ||
1 nm | 1.5* | 不適用 | |
50 nm | 不適用 | 1.5* |
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采用Mitsubishi串行通訊的RESOLUTE提供1 nm和50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大讀取速度為100 m/s。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。
分辨率 | 40位置位的最大柵尺長(zhǎng)度?(m) |
1 nm | 1.5* |
50 nm | 1.5* |
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采用Yaskawa串行通訊的RESOLUTE提供1 nm和50 nm分辨率選項(xiàng)。?最大柵尺長(zhǎng)度由讀數(shù)頭分辨率和串行字位置位數(shù)確定。
分辨率 | 36位置位的最大柵尺長(zhǎng)度?(m) | 最大讀取速度?(m/s) |
1 nm | 1.5* | 3.6 |
50 nm | 1.5* | 100 |
采用Panasonic串行通訊的RESOLUTE提供1 nm、50 nm和100 nm分辨率選項(xiàng)。
對(duì)于Panasonic協(xié)議,最大柵尺長(zhǎng)度1.5 m*適用于所有分辨率。
分辨率 | 最大讀取速度?(m/s) | ||
Panasonic A5系列 | Panasonic A6系列 | ||
1 nm | 0.4 | 4 | |
50 nm | 20 | 100 | |
100 nm | 40 | 100 |
采用FANUC串行通訊的RESOLUTE提供1 nm和50 nm分辨率選項(xiàng)。
最大讀取速度為100 m/s。 對(duì)于FANUC協(xié)議,最大柵尺長(zhǎng)度1.5 m*適用于所有分辨率。?
*RELA柵尺最長(zhǎng)可為1.5 m。如需更長(zhǎng)的柵尺,可考慮使用RSLA柵尺(最長(zhǎng)5 m)或RTLA柵尺(最長(zhǎng)21 m)。
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RESOLUTE安裝圖(在RELA柵尺上)
尺寸和公差?(mm)
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*安裝面厚度。?=建議的螺紋嚙合長(zhǎng)度最小為5(包括沉孔后為8 mm)。建議的擰緊扭矩為0.5至0.7 Nm。???到柵尺表面的尺寸。
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RELA安裝圖(粘貼安裝)
尺寸和公差?(mm)
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注:粘貼安裝式柵尺在安裝后不可重復(fù)使用。??垂直安裝柵尺時(shí),須固定定位銷,以支撐基準(zhǔn)邊緣。
柵尺訂貨號(hào)
訂貨號(hào)為A-9766-xxxx,其中xxxx為柵尺總長(zhǎng)度,單位為mm(請(qǐng)參見下表中的可用長(zhǎng)度)
柵尺實(shí)際長(zhǎng)度?(mm)
柵尺實(shí)際長(zhǎng)度?(mm)
0020 | 0110 | 0330 | 0680 | 1330 | |
0030 | 0130 | 0380 | 0730 | 1430 | |
0040 | 0150 | 0430 | 0780 | 1500 | |
0050 | 0180 | 0480 | 0880 | ||
0060 | 0230 | 0530 | 0980 | ||
0070 | 0250 | 0580 | 1030 | ||
0080 | 0280 | 0630 | 1230 |
RELA兼容讀數(shù)頭
RELA
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? | 安裝指南?M-9553-9128 規(guī)格手冊(cè)?BiSS L-9517-9453 FANUC L-9517-9447 Mitsubishi L-9517-9459 Panasonic L-9517-9465 Siemens DRIVE-CLiQ L-9517-9529 Yaskawa L-9517-9441 |
規(guī)格手冊(cè)?L-9517-9535 |
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